НАЗНАЧЕНИЕ

Формирование фоторезистивных и полимерных плёнок заданной толщины на поверхностях одиночных подложек, имеющих форму прямоугольных, квадратных  пластин.

Установка представляет собой  каркас  с размещённым на нём модулем нанесения, системой управления, системой подачи фоторезиста (подача может осуществляться двумя методами: полив и ультразвуковое распыление), системой подогрева фоторезиста, системой вентиляции, системой слива.

СОСТАВ УСТАНОВКИ:

Установка нанесения фоторезиста полуавтоматическая УНФ-1000ПА для объектов массой до 4 кг

  1. ванна
  2. стол
  3. модуль инструмента
  4. устройство струйного нанесения фоторезиста
  5. устройство ультразвукового нанесения фоторезиста
  6. ультразвуковая головка
  7. направляющие для защитного экрана
  8. панель управления
  9. отсек панели контроллера
  10. отсек панели серводвигателей
  11. антивибрационные опоры

ПОТРЕБИТЕЛЬСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТАНОВКИ

Характеристики обрабатываемых объектов
круг, квадрат, прямоугольник
Материал объектов
лист из различных материалов
Размеры объектов:
   – максимальный наружный диаметр
650 мм
   – максимальная сторона квадрата
650 мм
   – максимальная сторона прямоугольника
650 мм
   – максимальная толщина
5 мм
   – минимальная толщина
0,5 мм
Максимальный вес объекта
4 кг
Загрузка и выгрузка пластин на столик центрифуги
ручная
Подача фоторезиста на обрабатываемую пластину
автоматическая
Фиксация подложки на поверхности стола
по механическим упорам с прижимом
Диапазон задания скорости вращения, об/мин
10-1000
Точность поддержания скорости
± 10%
Дискретность задания ускорения, об/мин/с
0-1000
Диапазон задания времени обработки, с
1,0-300
Диапазон поддержания температуры фоторезиста, °С
35-45
Сбор отработанного полимера из ванны центрифуги осуществляется непосредственно в легко извлекаемую емкость
Потребляемая мощность, не более, кВт
3,5
Электропитание установки производится от однофазной трехпроводной сети переменного тока:
   напряжением
220 В
   частотой
50 Гц
Нормы качества электроэнергии по ГОСТ 13109-87
Для эксплуатации в установку необходимо подать сжатый воздух с давлением
0,4…0,6 мПа
При эксплуатации установку необходимо подсоединить:
   – к системе вытяжной вентиляции с расходом не менее
500 м3
   – к системе заземления
Габаритные размеры установки не более:
   – глубина
1100 мм
   – ширина
1600 мм
   – высота
1300 мм
Масса установки не более
400 кг

 

МИКТ Установка нанесения фоторезиста полуавтоматическая УНФ-1000ПА для объектов массой до 4 кг