НАЗНАЧЕНИЕ

Нагрев подложек различной формы. Материал подложек: кварц, стекло, полупроводники, керамика и т.д.

СОСТАВ УСТАНОВКИ:

  • каркас
  • блок термообработки
  • система управления

Загрузка-выгрузка пластины – ручная, дальнейшая ее обработка – автоматическая.

Установка ИК нагрева подложек УИКН-420

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

1. Размеры обрабатываемых пластин:
 
     круглые, диаметр, мм
250-420
     квадратные, мм
250-420
2. Толщина обрабатываемых пластин, мм
3-60
3. Максимальный вес пластины, кг
30
4. Диапазон задания времени обработки, с
1,0-1800,0
5. Дискретность задания времени обработки, с
1,0
6. Количество ИК нагревателей, шт.
9
7. Потребляемая мощность, не более,  кВт
12
8. Габариты установки, мм (Ш×Г×В)
830×965×1590

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УСТАНОВКИ

  • контроль температуры подложки
  • контроль температуры каждого ИК нагревателя
  • нагрев рабочей камеры
МИКТ Установка ИК нагрева подложек УИКН-420