НАЗНАЧЕНИЕ

Формирование топологического рисунка (маски) в фоторезистивной пленке на поверхности одиночных подложек, имеющих форму прямоугольных пластин с плоскопараллельными поверхностями, круглых, в т.ч. линз, из различных материалов (кварц, стекло, полупроводники, керамика).

Установка проявления подложек полуавтоматическая для объектов массой до 30 кг

СОСТАВ УСТАНОВКИ:

  • каркас
  • модуль проявления
  • система струйной подачи под давлением проявляющих и ополаскивающих растворов
  • система подачи на подложку магистрального очищенного и осушенного воздуха или инертного газа
  • блок электрический;
  • система управления установкой
  • система термостабилизации проявителя и ополаскивающих растворов
  • модуль с емкостями подачи растворов
  • защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком

Защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком обеспечивает класс чистоты 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 в зоне обработки пластин.

Загрузка-выгрузка пластины – ручная, дальнейшая ее обработка – автоматическая.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

1. Размеры обрабатываемых пластин:
 
 круглые, диаметр, мм
250-420
 квадратные, мм
250-420
2. Толщина обрабатываемых пластин, мм
3-60
3. Максимальный вес пластины, кг
30
4. Диапазон задания скорости вращения, об/мин
30-1000
5. Точность поддержания скорости вращения, об/мин
±5
6. Диапазон задания времени обработки, с
1,0-99,9
7. Дискретность задания времени обработки, с
1,0
8. Диапазон регулирования температуры каналов
подачи химических реагентов, °С
18-40
9. Потребляемая мощность, не более, кВт
5
10. Габариты установки, мм (Ш×Г×В)
1820×1300×2300

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УСТАНОВКИ:

  • подача проявителя и ополаскивающих растворов на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование)
  • подача проявителя и ополаскивающих растворов в любую заданную точку пластины
  • стабилизация и регулирование температуры проявителя и ополаскивающих растворов
МИКТ Инженерно-технический центр Установка проявления подложек полуавтоматическая для объектов массой до 30 кг