Назначение

Установка химического травления предназначена для объемной химической обработки и химического травления кварцевых, стеклянных, керамических пластин  в различных химических реактивах с последующей промывкой в деионизованной воде.

 Потребительские характеристики установки

Состав установки

Установка состоит из технологического модуля и блока подготовки и подачи химических реагентов. Технологический модуль состоит из полипропиленовой станины с размещенными на ней ваннами, системой управления, системой пневмо- и гидроатматуры и блоком обеспыливания. Состав и количество ванн:

  • ванна химической обработки – 1 шт.
  • ванна химического травления – 1 шт.
  • стоп-ванна – 1 шт.
  • ванна промывки – 1 шт.
  • ванна финишной промывки – 1 шт.

Блок подготовки и подачи химических реагентов из полипропиленовой станины с размещенными на ней насосами и пневмо и гидроарматуры.

Установка химического травления Установка химического травления
Установка химического травления Установка химического травления Установка химического травления

Технологические возможности установки

  • Групповая кассетная обработка
  • Ручная загрузка и выгрузка кассет с пластинами
  • Автоматическая подача химических реагентов
  • Контроль степени очистки пластин

Основные технические характеристики установки

Диаметр обрабатываемых пластин
100 мм
Количество обрабатываемых кассет Ø100 мм
1 шт.
Диапазон регулирования температуры химических реактивов в ванне химобработки, °С
(50-120)±2
Мощность нагревателей в химической ванне
1,4 кВт
Производительность насоса
10 л/мин.
Время слива из стоп-ванны
менее 7 сек.
Диапазон регулирования времени обработки
60-3600 сек.
Потребляемая мощность
не более 6 кВт
Габаритные размеры технологического модуля:
 
длина
1800 мм
ширина
670 мм
высота
2210 мм
Габаритные размеры блока подготовки и подачи химических реагентов:
 
длина
1675 мм
ширина
600 мм
высота
1850 мм

Особенность установки

  • Ванна химической обработки изготовлена из фторопласта. В ванне установлен нагреватель во фторопластовой оболочке. Ванна оснащена «воздушным ножом». Емкость ванны 10 литров.
  • Ванна химического травления изготовлена из фторопласта. В ванне установлен нагреватель во фторопластовой оболочке. Ванна оснащена «воздушным ножом». Емкость ванны 10 литров.
  • Стоп-ванна и ванна промывки изготовлены из полипропилена. Емкость ванн 10 литров.
  • Ванна финишной промывки изготовлена из полипропилена. Контроль степени очистки пластин контролируется датчиком удельного сопротивления воды. Емкость ванны 10 литров.
  • Количество подаваемого химического реагента задается при помощи расходомера.
  • Автоматический слив с ванн химической обработки и химического травления осуществляется насосами.

Система управления установкой

Система управления установкой – микроконтроллер с выводом информации на текстовый жидкокристаллический дисплей.

Система управления обеспечивает:

  • программирование технологических режимов в ваннах
  • задание и поддержание требуемой температуры в ваннах химической обработки
  • автоматический отсчет времени обработки в ваннах
  • индикацию заданных и фактических параметров обработки 

Для работы установка подключается:

  • к линии электрической сети с нулевым проводом  переменного тока напряжением 220 В частоты 50 Гц, нормы качества электроэнергии по ГОСТ 13109-87
  • к линии сжатого, обеспыленного воздуха по ГОСТ 174433-80 с давлением 0,4-0,6 МПа
  • к линии осмотически очищенной воды с давлением 0,2-0,25 МПа и расходом не менее 500 л/час
  • к линии технической воды давлением 0,2-0,25 МПа и расходом не менее 500 л/час
  • к линии вытяжной вентиляции, с производительностью 1500 м3/час
  • к линии химстойкой канализации Dу  50 мм
  • к контуру заземления
МИКТ Инженерно-технический центр Установка химического травления