НАЗНАЧЕНИЕ

Формирование плёнок заданной толщины из растворов органических и неорганических полимеров на гладких и рельефных поверхностях пластин круглой и прямоугольной формы. Нанесение пленкообразующих растворов для получения «spin-on glass» пленок.

Установка нанесения фоторезиста Установка нанесения фоторезиста
Установка нанесения фоторезиста Установка нанесения фоторезиста

Установка легко размещается на лабораторном столе и для работы подключается к вытяжной вентиляции и электричеству. Пластины обрабатываются на центрифуге в изолированной камере оснащенной системой вентиляции. Корпус установки изготовлен из полированной нержавеющей стали, камера обработки выполнена из полипропилена или капролона.

Загрузка и выгрузка пластин на столик центрифуги производится вручную. Фиксация пластины на поверхности столика – вакуумная.

Установка комплектуется набором столиков-подложкодержателей. Состав набора – по согласованию с Заказчиком.

Подача фоторезиста на обрабатываемую пластину производится с помощью пипетки.

Установка реализует 2 режима формирования плёнок: нанесение полимера (фоторезиста) на неподвижную или вращающуюся пластину.

Режимы работы задаются и программируются с помощью сенсорного текстового дисплея.

Дополнительная опция: автоматическая подача фоторезиста (полимера) с помощью программно-управляемого дозатора через установленное в крышке камеры сопло.

Дополнительная опция: система обогрева камеры.

 


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Наименование Значение
Размеры обрабатываемых пластин:
 
     круглые, диаметр, мм
10-150
     прямоугольные, мм
10x10 – 102x102
Диапазон задания скорости вращения, об/мин
100-6000
Точность поддержания скорости вращения об/мин
±5
Ускорения, об/мин/с
20000
Дискретность задания времени обработки, с
1,0
Диапазон задания времени обработки, с
1,0-100
Электропитание сеть переменного тока:
 
     напряжение, В
220
     частота, Гц
50
Потребляемая мощность, не более, кВт
1,0
Габариты установки, мм (ШxГxВ)
610x250x350
Масса, кг
7

Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.

Конструкция узлов и деталей удобна для промывки и очистки.

МИКТ Инженерно-технический центр Установка нанесения фоторезиста настольная УНФ-60Л